液氮循環(huán)密閉回路輸送系統(tǒng)
由于對無線電通訊設(shè)備需求的爆發(fā)性增長，多片裝分子束外延(MBE)系統(tǒng)在全世界得到了發(fā)展和應(yīng)用。工業(yè)界需求的持續(xù)增長推動(dòng)了外延片的制造者們開始使用更大的設(shè)備得到更高的外延片產(chǎn)出量。這種新產(chǎn)生的分子束外延設(shè)備卻帶來了新的液氮循環(huán)方面的問題。
由于分子束外延 (MBE) 的工藝對真空的要求達(dá)到極致，需利用液氮（LN2）夾套將生長腔內(nèi)的殘余氣體抽出。而如何將液氮輸送到分子束外延 (MBE) 設(shè)備液氮（LN2）夾層中，一直是個(gè)難題，由于液氮的特性，一旦液氮進(jìn)入低溫夾套后，就不是在最理想的條件下。典型的分子束外延(MBE)“管道系統(tǒng)”通常就是由放在離設(shè)備盡可能近的175L杜瓦罐和用來將液氮連接到低溫夾套的泡沫保溫管組成。這樣會(huì)使系統(tǒng)很臟、且伴有結(jié)冰。循環(huán)由從低溫夾套中連續(xù)排出液氮來完成。這方法除了效率非常低以外，還無法解決兩相流體（液和氣）共同流動(dòng)的問題。其中由液氮杜瓦罐出口閥處和低劣保溫的輸送管道產(chǎn)生的氣化以及液氮從高壓瞬間降低至大氣時(shí)的氣化所產(chǎn)生的大量氣體，從而導(dǎo)致生長腔內(nèi)的真空異常波動(dòng)。
成都恒立低溫設(shè)備有限公司特別設(shè)計(jì)出了為滿足分子束外延 (MBE)設(shè)備所需求的液氮密閉循環(huán)系統(tǒng)。密閉循環(huán)系統(tǒng)可以使低溫夾套內(nèi)表面完全浸泡在液氮里面、最大限度地減少排氣量并保持在低壓力下的液氮溫度恒定。全自動(dòng)的系統(tǒng)非常安全，可靠。
系統(tǒng)組成部分主要包括：從液氮儲(chǔ)槽開始到氣液分離器之間輸送液氮的真空多層絕熱低溫液體管道、氣液分離器和一個(gè)或者多個(gè)低溫夾套之間的供給和回流排氣管道組成。（如下圖）
